[发明专利]一种CuCr0.5表面Cu-Diamond复合层的制备方法有效
申请号: | 201910535225.X | 申请日: | 2019-06-20 |
公开(公告)号: | CN110218973B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 邱万奇;赵满圆;陈思婷;门德玛娜;李雨茵 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | C23C14/12 | 分类号: | C23C14/12;C23C14/24;C23C26/00;C22F1/08;C22F1/02 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 罗啸秋 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于电子器件散热材料领域,公开了一种CuCr0.5表面Cu‑Diamond复合层的制备方法。在CuCr0.5基体表面蒸镀一层十六酸十六脂膜,然后将金刚石粉沉降到十六酸十六脂膜表面,通过室温模压将金刚石颗粒半压入基体中,最后通过热模压的方法将CuCr0.5基体表面的金刚石颗粒全部压入基体中。本发明将热模压与CuCr0.5固溶+时效工艺有效组合在一起,减少了热损耗并简化了制备工艺,金刚石颗粒得到更有效的包覆,有效降低界面热阻的同时,降低表面热膨胀系数。 | ||
搜索关键词: | 一种 cucr0 表面 cu diamond 复合 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种CuCr0.5表面Cu‑Diamond复合层的制备方法,其特征在于包括如下制备步骤:(1)蒸镀油膜:在CuCr0.5基体表面蒸镀一层十六酸十六脂膜;(2)金刚石悬浮液沉降上砂:将金刚石粉末超声分散于热水容器中,得到金刚石‑水悬浮液,然后将蒸镀有十六酸十六脂的CuCr0.5基体至于金刚石‑水悬浮液底部,使蒸镀有十六酸十六脂面朝上,金刚石将沉降至十六酸十六脂表面并粘附一层金刚石粉,降温后取出;(3)半冷模压:用模压机将CuCr0.5表面粘附的金刚石粉用300~350MPa压力将金刚石颗粒部分压入CuCr0.5基体,使金刚石颗粒能牢固附着在基体表面;(4)脱脂清洗:将步骤(3)半冷模压后的样品用碱性脱脂剂超声清洗去除十六酸十六脂,然后蒸馏水超声清洗去除残存脱脂剂残留,烘干;(5)热模压:将步骤(4)脱脂清洗后的样品放入热模压模具中,含有金刚石面贴紧下模,在N2+H2保护性气氛炉中升温至900~950℃,用500~600MPa压力模压20~30min,冷却卸压出炉,得到CuCr0.5表面Cu‑Diamond复合层。
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