[发明专利]制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器在审
| 申请号： | 201910535279.6 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110618171A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | E.杜鲁普特 | 申请（专利权）人： | 梅斯法国公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)；b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)；c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)；且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 无机介电层 第二电极 相对湿度传感器 第一电极 孔洞 非多孔 基底 穿过 图案 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：/na)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)，/nb)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)，/nc)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)，且然后/nd)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于梅斯法国公司，未经梅斯法国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910535279.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
