[发明专利]具有同相驱动和感测运动抑制的MEMS角速度传感器在审
| 申请号： | 201910535411.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110617809A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 阿龙·A·盖斯贝格尔 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种MEMS装置包括与基板的表面间隔开的第一感测质量块、第二感测质量块、第三感测质量块和第四感测质量块。第一驱动联接器将第一感测质量块与第一致动器互连，第二驱动联接器将第二感测质量块与第二致动器互连，第三驱动联接器将第三感测质量块与第三致动器互连，第四驱动联接器将第四感测质量块与第四致动器互连。驱动联接器中的每一个包括：扭转杆，具有被对齐为平行于相邻感测质量块的外侧壁的长度；第一联接连杆和第二联接连杆，第一联接连杆和第二联接连杆联接到扭转杆的相对的第一端部和第二端部。第一联接连杆和第二联接连杆将第一、第二、第三和第四感测质量块中的相邻感测质量块与第一、第二、第三和第四致动器中的对应致动器联接。 | ||
| 搜索关键词： | 感测质量块 联接 驱动联接器 致动器 互连 扭转杆 表面间隔 第二端部 第一端部 对齐 外侧壁 基板 平行 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：/n基板，所述基板具有平面表面；/n第一感测质量块、第二感测质量块、第三感测质量块和第四感测质量块，这些感测质量块与所述基板的所述平面表面间隔开；/n第一致动器、第二致动器、第三致动器和第四致动器；/n第一驱动联接器，所述第一驱动联接器将所述第一感测质量块和所述第一致动器互连；/n第二驱动联接器，所述第二驱动联接器将所述第二感测质量块和所述第二致动器互连；/n第三驱动联接器，所述第三驱动联接器将所述第三感测质量块和所述第三致动器互连；以及/n第四驱动联接器，所述第四驱动联接器将所述第四感测质量块和所述第四致动器互连，其中所述第一驱动联接器、所述第二驱动联接器、所述第三驱动联接器和所述第四驱动联接器中的每一个包括：/n扭转杆，所述扭转杆具有被对齐为平行于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块的外侧壁的长度；/n第一联接连杆，所述第一联接连杆联接到所述扭转杆的第一端部；以及/n第二联接连杆，所述第二联接连杆联接到所述扭转杆的第二端部，所述第一联接连杆和所述第二联接连杆将所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的对应致动器联接。/n
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