[发明专利]龙门式测量装置及龙门式测量方法有效
| 申请号： | 201910538183.5 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN112113509B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 章富平;徐兵;廖飞红;王保亮;卢彧文;宋光辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种龙门式测量装置及龙门式测量方法，所述龙门式测量装置包括：承载模块，包括沿Y向对称设置的两个侧壁及连接两个侧壁的横梁，横梁上设置有第一导轨；运动模块，包括一第一滑块，第一滑块设置于第一导轨上并能够沿着第一导轨在X向上移动；运动位置测量模块，用于获取第一滑块的位置信息；参考探测模块，用于获取第一导轨的变形量；校正模块，利用第一导轨的变形量校正第一滑块的位置信息。本发明能够获取第一导轨的变形情况，从而对第一导轨的变形误差进行补偿，有效的削减因结构变形所带来的测量误差，适用于大尺寸基板测量，节约成本和设备占地面积，并且实现高精度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 龙门 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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