[发明专利]一种耐高温高灵敏柔性碳化硅基温度传感器及制作方法

摘要

本发明公开了一种耐高温高灵敏柔性碳化硅基温度传感器及制作方法，包括编织复合增韧碳化硅纤维作为增韧碳化硅柔性纤维基底以及键合在增韧碳化硅柔性纤维基底正面的钨铼合金薄膜组成；钨铼合金薄膜通过热喷涂与钨铼合金丝相连，钨铼合金薄膜表面涂敷镧锶钴氧粉末。本发明基于热电效应，能在高温工况下，将温度以电信号的形式输出，并通过温度与输出电压的关系，实现温度的测量。另外其利用表面成膜技术，将结构微型化，并添加镧锶钴氧粉末作为保护层，有效的防止了高温下的变质失效，同时提升热电效应，通过增大热电信号提升灵敏度。采用增韧碳化硅柔性纤维，在保证高温工作的同时，保证整体柔性。

主权项

1.一种耐高温高灵敏柔性碳化硅基温度传感器，其特征在于，包括基底(1)，基底(1)上设置有钨铼合金薄膜(2)，钨铼合金薄膜(2)的表面涂敷有镧锶钴氧粉末(4)，钨铼合金薄膜(2)的两侧分别连接钨铼合金丝(3)。