[发明专利]一种铜线键合报警功能的氢氮比例混合器及其报警方法在审
| 申请号： | 201910539027.0 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110264674A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 季达;黄渊 | 申请（专利权）人： | 南通华达微电子集团有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/12 | 分类号： | G08B21/12;B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 魏蓓 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及氢氮混合技术领域，具体是一种铜线键合报警功能的氢氮比例混合器及其报警方法，包括混合器本体；所述混合器本体的内部开设有用于氮气和氢气混合的混合腔，混合腔上设置有用于进气的氮气进气口和氢气进气口，氮气进气口和氢气进气口上分别设置有氮气流量控制器和氢气流量控制器；所述混合腔的内部还设置有氢气分析仪和混合气流量下限检测传感器。本发明通过在混合器本体的内部开设有用于氮气和氢气混合的混合腔，混合腔的氮气进气口和氢气进气口上分别设置有氮气流量控制器和氢气流量控制器，分别用于调节、控制氮气和氢气流量阀的输出流量，从而精确控制混合腔中氮气和氢气的进气量，避免手动调节带来的比例控制的不准确。 | ||
| 搜索关键词： | 混合腔 氮气 氮气进气口 混合器本体 氢气进气口 氢气 氢氮 氢气流量控制器 比例混合器 报警功能 氮气流量 铜线键合 控制器 报警 混合技术领域 混合气流量 氢气分析仪 比例控制 控制混合 氢气流量 手动调节 输出流量 传感器 进气量 进气 检测 | ||
【主权项】：
1.一种铜线键合报警功能的氢氮比例混合器，其特征在于，包括混合器本体；所述混合器本体的内部开设有用于氮气和氢气混合的混合腔，混合腔上设置有用于进气的氮气进气口和氢气进气口，氮气进气口和氢气进气口上分别设置有氮气流量控制器YB3和氢气流量控制器YB2；所述混合腔的内部还设置有氢气分析仪YB1和混合气流量下限检测传感器S1；所述混合气含氢气量下限报警继电器J2与氢气分析仪YB1电性连接，混合气含氢气量下限报警继电器J2的常开触点与混合气含氢气量下限报警指示灯D2、灯塔红灯D3和报警喇叭Y串联；所述混合气含氢气量下限报警继电器J2的常闭触点与灯塔绿灯D4串联所述混合气流量下限报警继电器J1与混合气流量下限检测传感器S1电性连接，混合气流量下限报警继电器J1的常开触点与混合气流量下限报警指示灯D1、灯塔红灯D3和报警喇叭Y串联；所述混合气流量下限报警继电器J1的常闭触点与灯塔绿灯D4串联。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通华达微电子集团有限公司，未经南通华达微电子集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910539027.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
