[发明专利]化合物及有机膜形成用组合物有效
| 申请号： | 201910539258.1 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110615732B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 橘诚一郎;渡边武;新井田惠介;长井洋子;泽村昂志;荻原勤;亚历山大·爱德华·赫斯;格雷戈里·布雷塔;丹尼尔·保罗·桑德斯;鲁迪·J·沃伊泰茨基 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C07C43/21 | 分类号： | C07C43/21;C07C41/30;C07C41/16;C07C49/84;C07C45/64;C07C43/23;C07D213/80;C07D221/16;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种化合物，其能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成在基板上的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物为下述通式(1‑1)所示的化合物。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 化合物 有机 形成 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化合物，其如下述通式(1-1)所示，/n[化学式1]/n
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