[发明专利]一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置及方法在审
| 申请号： | 201910540473.3 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110174073A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 于连栋;程杰;赵会宁;夏豪杰;李维诗 | 申请（专利权）人： | 佛山市天目工业测量科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市三水工业园乐平西*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光学精密测量领域，公开一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置，包括待测标准球棒、恒温加热系统、多目标干涉装置和光谱仪，所述待测标准球棒两端各设置有一标准球分别作为多目标干涉装置的测量对象，所述恒温加热系统设置特定的温度，通过温度传感器反馈控制恒定温度；所述多目标干涉装置固定安装在粗波分复用器通道出口，利用粗波分复用器将光源分割为测量通道的数量，并且每个通道的输出具有其自己的滤波光谱；所述光谱仪作为信号接收器件，飞秒激光光源经过光环形器到达粗波分复用器，分割光路分别进行测量，干涉返回的光在粗波分复用器复合再经光环形器到达光谱仪接收。获得球棒根据温度变化的热变形量，对其精度进行标定。 | ||
| 搜索关键词： | 粗波分复用器 干涉装置 标准球 多目标 球棒 恒温加热系统 光谱仪 干涉测量 光环形器 光谱分辨 热变形 飞秒激光光源 光学精密测量 信号接收器件 恒定 光谱仪接收 温度传感器 测量对象 测量通道 反馈控制 光源分割 滤波光谱 热变形量 通道出口 标定 光路 测量 复合 输出 返回 分割 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置，包括待测标准球棒（6）、恒温加热系统、多目标干涉装置（5）和光谱仪（2），所述待测标准球棒（6）两端各设置有一标准球（10）分别作为多目标干涉装置（5）的测量对象，其特征在于，所述恒温加热系统设置特定的温度，通过温度传感器反馈控制恒定温度；所述多目标干涉装置（5）固定安装在粗波分复用器（4）通道出口，利用粗波分复用器（4）将光源分割为测量通道的数量，并且每个通道的输出具有其自己的滤波光谱；所述光谱仪（2）作为信号接收器件，飞秒激光光源（1）经过光环形器（3）到达粗波分复用器（4），分割光路分别进行测量，干涉返回的光在粗波分复用器（4）复合再经光环形器（3）到达光谱仪（2）接收，在光谱仪中得到不同波段信号在频域的干涉强度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市天目工业测量科技有限公司，未经佛山市天目工业测量科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910540473.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
