[发明专利]一种制备防炫光玻璃的蚀刻系统及制备方法在审
| 申请号： | 201910540494.5 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110197785A | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 吴克坚;王震宇 | 申请（专利权）人： | 苏州加拉泰克动力有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 郭红岩 |
| 地址： | 215010 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种制备防炫光玻璃的蚀刻系统及制备方法，所述蚀刻系统内呈真空状态，所述蚀刻系统包括：第一电源；电极装置，设置于玻璃基板的一侧以驱动等离子撞击于玻璃基板上；供气源，用以与电极装置相连通以提供气体原子；所述电极装置形成有容纳腔且包括：阳极板和阴极板，均平行设置与玻璃基板的一侧且阳极板更靠近玻璃基板设置，所述阳极板和阴极板分别与第一电源的正极和负极电性连接以提供电子；所述阳极板上开设有连通容纳腔的出口以让等离子通过，所述阴极板上开设有连通容纳腔和供气源的入口；第一磁板和第二磁板，磁极相反且连接于阳极板和阴极板之间，所述第一磁板和第二磁板垂直于阳极板设置以驱动电子运动并撞击气体原子以形成等离子。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极板 玻璃基板 蚀刻系统 阴极板 磁板 制备 电极装置 等离子 容纳腔 气体原子 供气源 炫光 连通 电源 磁极 正极 玻璃 驱动 电子运动 负极电性 平行设置 真空状态 垂直 出口 | ||
【主权项】：
1.一种制备防炫光玻璃的蚀刻系统，用以对玻璃基板进行蚀刻以形成防炫光玻璃，其特征在于，所述蚀刻系统内呈真空状态，所述蚀刻系统包括：第一电源；电极装置，设置于玻璃基板的一侧以驱动等离子撞击于玻璃基板上；供气源，用以与电极装置相连通以提供气体原子；所述电极装置形成有容纳腔且包括：阳极板和阴极板，均平行设置与玻璃基板的一侧且阳极板更靠近玻璃基板设置，所述阳极板和阴极板分别与第一电源的正极和负极电性连接以提供电子；所述阳极板上开设有连通容纳腔的出口以让等离子通过，所述阴极板上开设有连通容纳腔和供气源的入口；第一磁板和第二磁板，磁极相反且连接于阳极板和阴极板之间，所述第一磁板和第二磁板垂直于阳极板设置以驱动电子运动并撞击气体原子以形成等离子。
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