[发明专利]一种适用于自动上料机构的LED芯片定位方法有效
申请号: | 201910540521.9 | 申请日: | 2019-06-21 |
公开(公告)号: | CN110364468B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 胡跃明;曹连洋;谭志国 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 王东东 |
地址: | 511458 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种适用于自动上料机构的LED芯片定位方法,采用一次激光步骤粗定位和一次相机拍摄精定位,能有效提高LED涂覆机自动上料过程中mini‑LED芯片与治具匹配的成功率,提高涂覆机生产速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 自动 机构 led 芯片 定位 方法 | ||
【主权项】:
1.一种适用于自动上料机构的LED芯片定位方法,其特征在于,所述自动上料机构包括传送带,待测LED芯片放置在传送带上到达目标位置,所述传送带下方设置激光发射器,所述目标位置的正上方设置相机,所述LED芯片设置Mark点;包括如下步骤:S1相机标定,得到像素位置距离与实际坐标距离的比例关系;S2是否需要制作目标模板,如果是,则具体为:待测LED芯片放在目标位置,相机拍摄图片,图片进行预处理后得到边缘图像,再裁剪得到含有Mark点的图,将裁剪后图作为目标模板;如果否,则进入S4;S3将S2中的边缘图像与目标模板进行匹配,得到Mark点像素坐标,然后按照S1中像素位置距离与实际坐标距离的比例关系得到实际Mark点坐标(x0,y0),进入S4;S4粗定位,控制传送带运载LED芯片高速通过激光发射器,激光发射器检测LED芯片后,得到此时LED芯片位置,传送带停止,然后按照目标位置与当前位置的距离,传送带移动至目标位置;S5相机拍摄此时位置的LED芯片,得到当前Mark点的实际位置坐标(x,y);S6精定位,令dx=x‑x0,将传送带低速移动dx长度,待检测LED芯片送达到目标位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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