[发明专利]一种图案化方法有效
| 申请号： | 201910540801.X | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110874019B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | F·拉扎里诺;V·M·布兰克 | 申请（专利权）人： | IMEC非营利协会 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/308 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁;陈斌 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据一个方面，提供了一种图案化方法，包括：使用第一掩模层作为蚀刻掩模来在上记忆层中图案化一组上沟槽；在下记忆层中图案化第一组下沟槽，所述图案化包括将经图案化的上记忆层、间隔件层和第一块图案用作为蚀刻掩模，其中所述第一下沟槽的至少一个子集被沟槽间断所中断；在经图案化的下记忆层和第二块图案上方形成第二掩模层，其中一组沟槽使用光刻和蚀刻来被形成在第二掩模层中；使用第二掩模层、间隔件层和第二块图案作为蚀刻掩模来在经图案化的下记忆层中图案化第二组下沟槽，其中所述第二下沟槽的至少一个子集被沟槽间断所中断；以及在目标层中在第一组下沟槽下方图案化第一组目标沟槽和在第二组下沟槽下方图案化第二组目标沟槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于IMEC非营利协会，未经IMEC非营利协会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910540801.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
