[发明专利]一种柔性湿度电子传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910542160.1 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110286150A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王志明;刘德胜;余鹏;童鑫;林峰;巫江 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人： | 李华;温黎娟 |
| 地址： | 610054 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种柔性湿度电子传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底上设有石墨烯层，所述石墨烯层分别与第一电极和第二电极电接触；所述石墨烯层上设有固态电解质层，所述固态电解质层与第一电极、第二电极和第三电极电接触。在可弯折的柔性衬底上设置固态电解质层作为感应层，再设置石墨烯和电极构成场效应晶体管，去掉了硬质的电极基板，从而能够通过弯折来调节传感器形状，保证检测感应面积的情况下减少占用的空间和尺寸，从而提高了湿度电子传感器的适用范围，能够更方便地应用到可穿戴设备上。本发明还公开一种上述柔性湿度电子传感器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电子传感器 固态电解质层 石墨烯层 衬底 第二电极 第一电极 电接触 制备 场效应晶体管 传感器形状 可穿戴设备 第三电极 电极基板 感应层 可弯折 石墨烯 电极 弯折 硬质 占用 检测 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种柔性湿度电子传感器，包括柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底上设有石墨烯层，所述石墨烯层分别与第一电极和第二电极电接触；所述石墨烯层上设有固态电解质层，所述固态电解质层与第一电极、第二电极和第三电极电接触。
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