[发明专利]一种硅基芯片组的高保护性封装设备有效
申请号: | 201910542883.1 | 申请日: | 2019-06-21 |
公开(公告)号: | CN110137093B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 吴美俊 | 申请(专利权)人: | 浙江金果知识产权有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 322000 浙江省金华市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开的一种硅基芯片组的高保护性封装设备,包括箱体,所述箱体顶壁内设有动力腔,所述动力腔内设有可为装置提供动力的动力机构,所述箱体下壁内设有控制腔,所述控制腔内设有控制机构,本发明结构简单,维护便利,使用方便,可使硅基芯片在密闭的环境中,加工封装,不会受到外界的因素干扰,且整个过程自动高效,无需人员干涉,同时装置内部结构稳定,对芯片不会产生伤害,能够安全稳定的将硅基芯片进行封装,大大提高成品合格率,节约了工厂的生产成本,提高了原料的利用率。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片组 保护性 封装 设备 | ||
【主权项】:
1.本发明的一种硅基芯片组的高保护性封装设备,包括箱体,所述箱体顶壁内设有动力腔,所述动力腔内设有可为装置提供动力的动力机构,所述箱体下壁内设有控制腔,所述控制腔内设有控制机构;所述动力腔下壁内设有传动腔,所述传动腔内设有推送传动机构,所述传动腔下壁内设有推送腔,所述推送腔内设有推送机构,所述传动腔左壁内设有封装板储存腔,所述封装板储存腔左右两侧壁内设有可提供缓冲作用的缓冲垫,所述封装板储存腔内叠放有封装盖板;所述封装板储存腔左壁连通设有工作腔,所述工作腔顶壁内设有凸轮机构,所述工作腔内且位于所述凸轮机构下端设有加压机构,所述工作腔下壁设有传送机构,所述传送机构上方铺设有芯片基板,所述工作腔左壁内设有可夹紧固定所述芯片基板的夹紧机构;所述箱体左壁内设有连杆机构传动腔,所述连杆机构传动腔内设有连杆机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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