[发明专利]一种以旋转阳极靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910543326.1 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN111519146A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐信森;陈占洋;张飞;温春雨;左振皋 | 申请（专利权）人： | 山东格美钨钼材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264211 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种以旋转阳极靶材的制备方法，经过了选粉、压制、添粉、压制、烧结提纯、热等静压、整形、退火、机械加工、检验、动态平衡试验和上机试验。本发明中，钨铼‑TZM合金具有晶粒细小、组织均匀、杂质元素含量较低、高致密性、高强度等优异性能，且制得的旋转阳极靶具有产品合格率高、散热性好、抗热冲击性好、使用寿命长等优点，制备方法中通过热等静压工艺对钨铼‑TZM合金，尤其是通过选取合适的热等静压的处理温度和压力来对靶材加工，增加钨铼‑TZM合金靶材的连接强度和工件的密度，且TZM具有熔点高、强度大、弹性模量高、线膨胀系数小、蒸气压低、导电导热性好、抗蚀性强以及耐高温力学性能良好等特点，产品具有很好的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 阳极 制备 方法 | ||
【主权项】：
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