[发明专利]基于刻蚀和定向外延的片内嵌入金刚石散热氮化镓晶体管及制备方法在审
| 申请号： | 201910546088.X | 申请日： | 2019-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN110379782A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 黄语恒;郭怀新;孔月婵;陈堂胜 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/373;H01L21/04;H01L23/14 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于刻蚀和定向外延的片内嵌入金刚石散热氮化镓晶体管及制备方法，氮化镓晶体管自上而下包括有源区功能层、势垒层、缓冲层、衬底及散热区，散热区嵌入在衬底内，位于有源区功能层下方，紧邻热源区，通过ICP刻蚀工艺和外延定向生长金刚石厚膜形成，具有区域应力小和高的热输运能力特性，近而有效实现氮化镓晶体管的高效散热能力。本发明解决了大功率氮化镓器件有源区热积累，极大提高了器件最大输出功率。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化镓晶体管 源区 嵌入 金刚石 功能层 散热区 散热 衬底 刻蚀 制备 最大输出功率 氮化镓器件 金刚石厚膜 定向生长 高效散热 能力特性 有效实现 缓冲层 热积累 热源区 势垒层 输运 | ||
【主权项】：
1.一种基于刻蚀和定向外延的片内嵌入金刚石散热氮化镓晶体管，其特征在于，自上而下依次包括有源区功能层(1)、势垒层(2)、缓冲层(3)、衬底(4)和散热区(5)，所述散热区(5)嵌入在衬底(4)内，位于有源区功能层(1)下方，距离缓冲层(3)5‑30微米。
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