[发明专利]具有非极性、半极性面的图形蓝宝石衬底、可见光通信光源及其制备方法有效
| 申请号： | 201910546752.0 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110335924B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 陶涛;智婷;刘斌;谢自力;陈鹏;陈敦军;修向前;赵红;张荣 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/20;H01L33/32;H01L33/44 |
| 代理公司： | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人： | 张佳妮 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于非极性、半极性面的可见光通信光源及相应的图形蓝宝石衬底，选取一蓝宝石衬底加工出光栅状条形图案；在刻蚀工艺中讲台阶侧壁的角度进行优化，优化下一步的生长面角度；在此图形化蓝宝石衬底设计阻挡层，采用氧化硅薄膜作为外延阻挡层；利用化学气相外延法依次生长GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层、电子阻挡层、p型GaN层，并公开了其生长方法。本发明利用非/半极性面在Ⅲ族氮化物极化调控上的优势减弱量子限制斯托克效应的影响，增加电子‑空穴波函数在实空间上的交叠，提高载流子的辐射复合占比和速率，该方法适用于利用非极性、半极性面技术有效提高可见光通信性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 极性 图形 蓝宝石 衬底 可见 光通信 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有非极性、半极性面的图形蓝宝石衬底，其特征在于：所述蓝宝石衬底在r面上刻有台阶状光栅图形结构，在台阶的顶面、一侧侧壁及与该侧壁相连的底面上沉积有外延阻挡层。
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