[发明专利]沉积装置有效
| 申请号： | 201910549089.X | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110656305B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 安鼎铉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 焦立波;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种沉积装置包括：驱动单元，被配置为能在彼此相交的第一方向和第二方向上移动并能围绕平行于第三方向的旋转轴线旋转，所述第三方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面；在所述第三方向上连接到所述驱动单元的底端的第一支撑构件；设置在所述第一支撑构件下方并连接到所述第一支撑构件的磁板；设置在所述磁板下方的第二支撑构件；以及设置在所述第一支撑构件上的多个第一连接单元。所述第一连接单元可以在所述第三方向上延伸，可以穿过所述第一支撑构件和所述磁板，并且可以连接到所述第二支撑构件。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种沉积装置，包括：/n驱动单元，被配置为能在彼此相交的第一方向和第二方向上移动并能围绕平行于第三方向的旋转轴线旋转，所述第三方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面；/n在所述第三方向上连接到所述驱动单元的底端的第一支撑构件；/n设置在所述第一支撑构件下方并连接到所述第一支撑构件的磁板；/n设置在所述磁板下方的第二支撑构件；以及/n设置在所述第一支撑构件上的多个第一连接单元，所述第一连接单元在所述第三方向上延伸，穿过所述第一支撑构件和所述磁板，并被连接到所述第二支撑构件。/n
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