[发明专利]一种改进型半导体材料生产技术设备

摘要

本发明公开了一种改进型半导体材料生产技术设备，包括加工室，加工室内设有打磨机，打磨机一侧的外侧壁上固定安装有连接块，连接块上螺纹连接有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿连接块设置，加工室顶端的内侧壁上固定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有第一转轴，且第一转轴的底端固定安装在第一螺纹杆的顶壁上，第一螺纹杆的底端固定连接有第一轴承。本发明中将半导体材料竖直夹设在定位板上并使用打磨机进行抛光，抛光时产生的碎屑由于自身重力会自动掉落至半导体材料的下侧，从而避免抛光时产生的碎屑聚集在半导体材料上，极大的改善了半导体材料的抛光和加工质量，设计合理。

主权项

1.一种改进型半导体材料生产技术设备，包括加工室(1)，其特征在于：所述加工室(1)内设有打磨机(2)，所述打磨机(2)一侧的外侧壁上固定安装有连接块(3)，所述连接块(3)上螺纹连接有第一螺纹杆(4)，且第一螺纹杆(4)贯穿连接块(3)设置，所述加工室(1)顶端的内侧壁上固定安装有第一电机(5)，所述第一电机(5)的输出端固定安装有第一转轴(6)，且第一转轴(6)的底端固定安装在第一螺纹杆(4)的顶壁上，所述第一螺纹杆(4)的底端固定连接有第一轴承(7)，所述第一轴承(7)一侧的外侧壁上固定安装有安装块(8)，所述安装块(8)的顶壁上固定安装有第一导向杆(9)，且第一导向杆(9)的顶端贯穿连接块(3)并延伸至连接块(3)的上侧，所述安装块(8)一侧的外侧壁上螺纹连接有第二螺纹杆(10)，且第二螺纹杆(10)贯穿安装块(8)设置，所述加工室(1)底端的内侧壁上固定安装有第二电机(11)，所述第二电机(11)的输出端固定安装有第二转轴(12)，且第二转轴(12)远离第二电机(11)的一端固定安装在第二螺纹杆(10)上，所述第二螺纹杆(10)远离第二转轴(12)的一端固定连接有第二轴承(13)，且第二轴承(13)固定安装在加工室(1)的内侧壁上，所述加工室底端的内侧壁上固定安装有第二导向杆(14)，且第二导向杆(14)贯穿安装块(8)设置，所述打磨机(2)的一侧可活动设有定位板(17)，所述定位板(17)上连接有半导体材料(18)，所述定位板(17)上设有与半导体材料(18)相互配合的夹具，所述加工室(1)一侧的外侧壁上设有密封门(28)，所述加工室(1)内设有防氧化装置。