[发明专利]一种柔性电子皮肤的制备方法及其产品有效
申请号: | 201910551463.X | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN110251281B | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 申曜鑫;张树昌;邓鹏飞;杨朝宇 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | A61F2/68 | 分类号: | A61F2/68;B32B7/12;B32B27/36;B32B27/40;B32B33/00;B32B37/12;B32B38/10 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 梁鹏;曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于柔性电子皮肤领域,并公开了一种柔性电子皮肤的制备方法及其产品。柔性电子皮肤从上自下包括功能层、基底A和粘性基底B,其制备方法包括:(a)复合基底包括基底A和辅助基底,二者之间通过设置在辅助基底上的牺牲层连接;(b1)功能层包括连接层和金属导电层,采用蒸镀逐层制备;(b2)功能层和基底A形成的复合层进行图案切割,将复合层切割为柔性电极部分和非功能部分;(b3)剥离非功能部分;(c)在柔性电极部分中的功能层上贴附胶带,去除辅助基底,获得贴附在胶带上的柔性电极部分;(d)在基底A上贴附粘性基底B,剥除胶带,获得所需的柔性电子皮肤。通过本发明,简化传统的制备工艺,减低制备成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电子 皮肤 制备 方法 及其 产品 | ||
【主权项】:
1.一种柔性电子皮肤的制备方法,其特征在于,所述柔性电子皮肤从上自下包括功能层、基底A和粘性基底B,该柔性电子皮肤的制备方法包括下列步骤:(a)复合基底的制备复合基底包括基底A和辅助基底,所述基底A贴附在所述辅助基底上,二者之间通过设置在所述辅助基底上的牺牲层连接;(b)功能层的制备(b1)所述功能层包括连接层和金属导电层,所述连接层用于连接所述金属导电层和所述基底A,采用蒸镀的方式在所述基底A上镀上一层连接层,再次采用蒸镀方式在所述连接层上的镀上一层所述金属导电层;(b2)根据所需柔性电极的形状,同时对所述功能层和基底A形成的复合层进行图案切割,以此在所述辅助基底上将所述复合层切割为柔性电极部分和非功能部分,其中,所述柔性电极部分包括基底A和设置在该基底A上的功能层;(b3)在所述辅助基底的下方喷洒粘度降低剂,该粘度降低剂渗透所述辅助基底,降低所述辅助基底与基底A之间的粘性,然后将所述非功能部分从所述辅助基底上剥离,以此获得粘附在所述辅助基底上的柔性电极部分;(c)去除辅助基底在所述柔性电极部分中的功能层上贴附胶带,在所述辅助基底上喷洒分解酶,然后升高温度至该分解酶的最佳分解温度,使得所述分解酶分解所述牺牲层,进而使得所述辅助基底与柔性电极部分中的柔性电极A分离,以此获得贴附在胶带上的柔性电极部分;(d)粘性基底B的制备升高温度使得所述胶带的粘度降低,在所述柔性电极部分中的基底A上贴附所述粘性基底B,由于柔性电极部分中间设置有镂空的图案,使得粘性基底B与所述胶带连接,采用有机溶剂降低所述粘性基底B与所述胶带的粘附性,剥除所述胶带,获得所需的柔性电子皮肤。
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