[发明专利]可调节干涉位置测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201910552419.0 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110319788B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 吴伦哲;顿爱欢;徐学科;邵建达;杨明红;朱杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种可调节干涉位置测试装置和方法，包括干涉仪、微机电系统反射镜、分光镜、分光棱镜、位置传感器和计算机等。本发明可作复杂光学曲面的面形的测试头，可以保证比较广的测试范围，高测试精度以及更大的测试视场。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 干涉 位置 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可调节干涉位置测试装置，其特征在于，包括：激光干涉仪(1)、分光镜(2)、分光棱镜(3)、计算机(4)、位置传感器1#(5)、位置传感器2#(6)、微机电系统反射镜(7)；所述的分光镜(2)的一面镀有增透膜(2(a))，另一面镀有半透半反膜(2(b))；所述的激光干涉仪(1)输出光经所述的分光镜(2)的增透膜(2(a))透射后，入射到所述的微机电系统反射镜(7)，经该微机电系统反射镜(7)反射后，射向待测试元件表面，经待测试元件表面反射后，沿原路返回，经微机电系统反射镜(7)反射后入射到所述的分光镜(2)，经该分光镜(2)的半透半反膜(2(b))分为反射光和透射光，所述的透射光由激光干涉仪(1)接收，所述的反射光入射到分光棱镜(3)，经该分光棱镜(3)分为第二反射光和第二透射光，所述的第二反射光由位置传感器2#(6)接收，所述的第二透射光由位置传感器1#(5)接收；所述的位置传感器2#(6)与分光棱镜(3)的间距和位置传感器1#(5)与分光棱镜(3)的间距不等；所述的激光干涉仪(1)的输出端与计算机(4)输入端相连，所述的位置传感器1#(5)的输出端和位置传感器2#(6)的输出端分别与计算机(4)的输入端相连，微机电系统反射镜(7)输入端与计算机(4)的输出端相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司，未经中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910552419.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：表面量测系统
- 下一篇：一种谐波减速器柔轮齿廓误差与变形函数的检测装置和方法
