[发明专利]一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台在审
| 申请号： | 201910553212.5 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112130418A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陆敏杰;周俊晨 | 申请（专利权）人： | 无锡星微科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区太湖国际*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台，包括：激光刻写仪器，用于在待刻写玻璃刻写光栅尺；X轴粗动直线轴，用于光栅尺刻写时，使玻璃在X轴方向上做扫描运动；RZ微动旋转轴，安装于X轴粗动直线轴上，用于对X轴粗动直线轴运动产生的误差进行补偿；Y轴粗动轴，用于光栅尺刻写时，带动激光刻写仪器进行运动；RXYZ微动轴，用于对X轴粗动直线轴、Y轴粗动轴运动产生的误差进行补偿，使用了光栅尺与激光干涉仪相结合的反馈方式，使得平台自身的精度大大提高了；且增加了XY方向上的行程，使得生产的光栅尺长度增加了；X轴、RZ轴、Y轴、RXYZ的结合，可以消除平台自身的误差，提高了生产的光栅尺的精度等级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光栅尺 刻写 尺寸 激光 运动 | ||
【主权项】：
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