[发明专利]研磨头微漏检测系统在审
| 申请号： | 201910554624.0 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110103133A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 夏俊东;徐海强 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是研磨头微漏检测系统，其结构包括研磨头气室、微型湿度传感器、真空压力控制单元和湿度采集单元，其中研磨头气室位于研磨头接触被研磨物体端，研磨头气室通过真空管路连接真空压力控制单元，真空管路中设有微型湿度传感器，微型湿度传感器与湿度采集单元信号连接。本发明的优点：1)可有效检测到研磨头气室膜微漏，及时杜绝微漏对气室膜压力造成影响，保证研磨效率；2)可对研磨头组装良率进行间接检测，如果研磨头在工作时结构发生损坏，水气进入时可检测出异常，方便及时维护处理，保证产品质量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨头 微型湿度传感器 气室 湿度采集单元 真空压力控制 微漏检测 真空管路 气室膜 微漏 产品质量稳定性 间接检测 信号连接 研磨效率 有效检测 组装良率 研磨 可检测 水气 保证 维护 | ||
【主权项】：
1.研磨头微漏检测系统，其特征包括研磨头气室(21)、微型湿度传感器(3)、真空压力控制单元(4)和湿度采集单元(5)，其中研磨头气室(21)位于研磨头(2)接触被研磨物体(1)端，研磨头气室(21)通过真空管路(22)连接真空压力控制单元(4)，真空管路(22)中设有微型湿度传感器(3)，微型湿度传感器(3)与湿度采集单元(5)信号连接；所述的微型湿度传感器(3)用于采集真空管路(22)内湿度信号并传输给湿度采集单元(5)；所述的真空压力控制单元(4)用于通过真空管路(22)对研磨头气室(21)抽真空以吸取被研磨物体(1)。
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