[发明专利]加热用LED灯及具备加热用LED灯的晶圆加热组件在审
| 申请号： | 201910554626.X | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110708769A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 乡田哲也 | 申请（专利权）人： | 凤凰电机公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种能使晶圆在短时间内均匀地上升至所需温度的加热用LED灯。加热用LED灯(100)具备基板(110)和载置于基板(110)表面的多个LED(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 加热 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种加热用LED灯，其特征在于，具备：/n基板；以及/n载置于所述基板的表面的多个LED。/n
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