[发明专利]陶瓷手臂及其制备方法、真空吸附机械手和晶圆传输装置在审
| 申请号： | 201910558171.9 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110105057A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 谭毅成;朱佐祥;向其军 | 申请（专利权）人： | 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;C04B35/645 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种陶瓷手臂及其制备方法、真空吸附机械手和晶圆传输装置。该陶瓷手臂的制备方法，包括如下步骤：将石蜡加工成型，得到成型件，且成型件的尺寸与待制备的陶瓷手臂的气道尺寸相等；将陶瓷原料与成型件共同成型，得到具有成型件的坯体；将具有成型件的坯体中的成型件去除；将去除成型件的坯体烧结处理，得到具有气道的陶瓷手臂。上述陶瓷手臂的使用寿命较长。 | ||
| 搜索关键词： | 成型件 手臂 陶瓷 制备 真空吸附机械手 晶圆传输装置 坯体 气道 去除 石蜡 加工成型 坯体烧结 使用寿命 陶瓷原料 相等 成型 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将石蜡加工成型，得到成型件，且所述成型件的尺寸与待制备的陶瓷手臂的气道尺寸相等；将陶瓷原料与所述成型件共同成型，得到具有所述成型件的坯体；及将具有所述成型件的所述坯体中的所述成型件去除；及将去除所述成型件的所述坯体烧结处理，得到具有所述气道的所述陶瓷手臂。
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