[发明专利]衬底结构及制造工艺在审
| 申请号： | 201910558658.7 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110648990A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡丽娟;王武昌 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种衬底结构包括至少一个可拆卸第一衬底单元及衬底主体。所述可拆卸第一衬底单元包括多个角隅及多个第一啮合部分。每一个所述第一啮合部分设置在所述可拆卸第一衬底单元的每一个所述角隅。所述衬底主体包括多个第二衬底单元、至少一个开口及多个第二啮合部分。所述开口实质上由所述第二衬底单元的多个侧壁界定，且包括多个角隅。每一个所述第二啮合部分设置在所述开口的每一个所述角隅。所述可拆卸第一衬底单元设置在所述开口中，且所述第二啮合部分与所述第一啮合部分啮合。 | ||
| 搜索关键词： | 啮合 衬底 可拆卸 角隅 开口 衬底主体 侧壁界定 衬底结构 单元设置 开口实质 | ||
【主权项】：
1.一种衬底结构，其包括：/n至少一个可拆卸第一衬底单元，其包括多个角隅及多个第一啮合部分，其中每一个所述第一啮合部分设置在所述可拆卸第一衬底单元的每一个所述角隅；及/n衬底主体，其包括多个第二衬底单元、至少一个开口及多个第二啮合部分，其中所述开口实质上由所述第二衬底单元的多个侧壁界定，所述开口包括多个角隅，每一个所述第二啮合部分设置在所述开口的每一个所述角隅，所述可拆卸第一衬底单元设置在所述开口中，且所述第二啮合部分与所述第一啮合部分啮合。/n
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