[发明专利]一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置在审
| 申请号： | 201910560174.6 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110129886A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;袁文博;范国峰;张胜涛;刘德超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置，属于碳化硅材料技术领域。本发明包括上盖、上旋转定位机构、下旋转支撑机构和反应室，反应室的内壁上设置有支撑台，上旋转定位机构安装在下旋转支撑机构上，旋转定位机构置于支撑台上，上盖与反应室螺纹连接，上旋转定位机构与下旋转支撑机构之间安装有支撑杆，且旋转定位机构均包括旋转圆环、旋转夹片和旋转平板，旋转圆环与旋转平板之间设置有旋转夹片，旋转夹片通过圆杆与旋转圆环配合安装，旋转夹片通过滑块还与旋转平板滑动配合安装。本发明的结构简单，方便拆卸和更换，不需要使用粘接剂就可实现对籽晶片的固定，而且在晶体生长完成后便于分离。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转定位机构 旋转夹片 旋转支撑机构 旋转平板 旋转圆环 反应室 籽晶固定装置 碳化硅单晶 上盖 碳化硅材料 方便拆卸 滑动配合 晶体生长 螺纹连接 配合安装 粘接剂 支撑杆 支撑台 籽晶片 生长 滑块 内壁 圆杆 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置，其特征在于，包括上盖(1)、上旋转定位机构(21)、下旋转支撑机构(22)和反应室(3)，所述上旋转定位机构(21)包括第一旋转圆环(211)、第一旋转夹片(212)和第一旋转基板(213)，所述第一旋转圆环(211)上加工有多个弧形孔I(23)，所述第一旋转夹片(212)上设置有第一圆杆(24)和第一滑块(25)，所述第一旋转基板(213)上加工有第一通孔(26)，所述第一旋转圆环(211)与所述第一旋转基板(213)之间设置有所述第一旋转夹片(212)，所述第一旋转夹片(212)通过第一圆杆(24)与第一旋转圆环(211)配合安装，所述第一旋转夹片(212)通过第一滑块(25)与所述第一旋转基板(213)滑动配合安装，所述上旋转定位机构(21)安装在所述下旋转支撑机构(22)上，所述反应室(3)的内壁上设置有支撑台(311)，所述上旋转定位机构(21)与所述下旋转支撑机构(22)置于所述反应室(3)内的支撑台(311)上，所述上盖(1)与所述反应室(3)螺纹连接。
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