[发明专利]一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201910560268.3 申请日: 2019-06-26
公开(公告)号: CN110331388B 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 杨为家;刘俊杰;刘铭全;何鑫;刘志豪 申请(专利权)人: 五邑大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12;B82Y30/00;B82Y40/00;C03C17/25
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 吴伟文
地址: 529020 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其主要包括S1)、利用氯化锌、六甲基次四胺配置生长溶液;S2)、采用乙醇、去离子水超声波清洗衬底5‑8次,并采用气枪吹干;S3)、将生长溶液和清洗干净的衬底放入高压釜当中,密封之后放入烘箱中,亿实现ZnO纳米多孔薄膜的生长,从而获得ZnO纳米多孔薄膜。本发明制备工艺成熟,配方简单,无需特别昂贵的设备即可制备ZnO纳米多孔薄膜,有利益降低生产成本。本发明制备ZnO纳米多孔薄膜具有自发形成的多级孔,有利于提高薄膜的性能。
搜索关键词: 一种 基于 水热法 快速 生长 zno 纳米 多孔 薄膜 方法
【主权项】:
1.一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1)、生长溶液,将1.0‑2.5g氯化锌或者碳酸锌加入到一定量的乙二醇中,在室温下加班均匀,得到混合溶液A;S2)、将将0.4‑1.2g六甲基次四胺加入到10‑40mL的去离子水中,在温度为60‑80℃条件下采用磁力搅拌30‑60min,获得澄清混合溶液B;S3)、将混合溶液A和混合溶液B混合,并在室温下磁力搅拌30‑60min,获得所需的生长溶液;S4)、清洗衬底,采用乙醇、去离子水超声波清洗衬底5‑8次,并采用气枪吹干;S5)、ZnO纳米多孔薄膜的生长,将生长溶液和清洗干净的衬底放入高压釜当中,密封之后放入烘箱中,在80‑100℃保温3‑20min,然后自然冷却至室温,取出样品,使用乙醇清洗残余溶液,并烘干,即可在衬底上获得ZnO纳米多孔薄膜。
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