[发明专利]一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统

摘要

本发明提供一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法，所述方法包括：S1、设定质检路径及位置点，设定被校调节机构执行的质检路径以及被校调节机构运行质检路径的位置点，并获得相邻位置点间的物理移动长度Lpi；所述质检路径设定至少一段特征路段；S2、被校调节机构根据预设质检路径移动；S3、对被校调节机构执行质检路径上全路径设定的所有位置点进行精度校准。本发明的有益效果体现在，通过激光干涉仪和视觉系统的联合工作，在实现全路径高精度校准的同时克服自动化机台安装空间的限制，可在对调节机构无干扰情况下对执行路径设定的每个位置点精度做出校准，从而对调节机构实时工作时整个路径的某一段的精度给出可量化的评估。

主权项

1.一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法，其特征在于，所述方法包括：/nS1、设定质检路径及位置点，设定被校调节机构执行的质检路径以及被校调节机构运行质检路径的位置点，并获得相邻位置点间的物理移动长度Lp_i；所述质检路径设定至少一段特征路段；/nS2、被校调节机构根据预设质检路径移动；/nS3、对被校调节机构执行质检路径上全路径设定的所有位置点进行精度校准，包括：/n利用视觉系统针对被校调节机构运行的质检路径上除特征路段外的其余路段做精度校准，包括对被校调节机构沿质检路径运行的所有位置点进行图像拍摄，测量相邻两位置点的视觉移动长度并获得各位置点的视觉移动精度；/n利用激光干涉仪针对被校调节机构运行的质检路径上的特征路段做精度校准，包括测量质检路径相邻两位置点的标准移动长度并获得各位置点的标准移动精度。/n