[发明专利]液滴型缺陷的检测方法和检测系统有效
| 申请号： | 201910561154.0 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN112229853B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 刘明宗 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G06T7/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高德志 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种液滴型缺陷的检测方法和监测系统，其中所述检测方法，包括：获取待检测晶圆图像；获得所述待检测晶圆图像中的缺陷区域；对所述缺陷区域进行骨架化，获得骨架化缺陷图形；判断所述骨架化缺陷图形是否为线状，若所述骨架化缺陷图形为线状，则该骨架化缺陷图形对应的晶圆缺陷为液滴型缺陷。本发明实现对特定液滴型缺陷的识别并提高了识别的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 液滴型 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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