[发明专利]一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法有效
| 申请号： | 201910562431.X | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110221369B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李强;张启凡;秦潇;云峰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及方法，布拉格反射镜包括衬底，衬底表面设有S个薄膜周期结构，S为整数且S≥1；薄膜周期结构包括BN低折射率层和设置在BN低折射率层上的BAlN高折射率层；制备布拉格反射镜的方法：(1)将干净衬底放入腔室内加热；(2)只开启BN靶材电源，在衬底表面溅射一层BN薄膜；(3)保持BN靶材电源功率不变，开启Al靶材电源，溅射一层BAlN薄膜；(4)S＞1时，重复步骤(2)、(3)，实现具有多个薄膜周期结构的布拉格反射镜的制备。制备方法简单，薄膜平整度高，可以制备多个薄膜周期结构的布拉格反射镜，并且可以实现大面积产业化制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 bn al 薄膜 布拉格 反射 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜，其特征在于，包括衬底，衬底表面设有S个薄膜周期结构，S为正整数且S≥1；一个薄膜周期结构包括低折射率的BN薄膜和设置在BN薄膜上的高折射率的BAlN薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910562431.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
