[发明专利]一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备在审
| 申请号： | 201910562480.3 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN112144015A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 庞浩;何嘉 | 申请（专利权）人： | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备，用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的，从而避免采用人工进行匹配造成工作量大，且工作效率较低的问题。一种蒸发源的匹配方法，包括：确定第一标识信息，以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置，所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置；根据所述第一标识信息，以及预设的标识信息之间的对应关系，确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息，所述第二标识信息用于标识蒸发源；根据所述第二标识信息，确定与所述第二标识信息对应的蒸发源，并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 匹配 方法 及其 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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