[发明专利]金刚烷－多酚寡聚物及其光刻胶组合物和应用有效
| 申请号： | 201910562739.4 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN112142955B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李嫕;胡盛文;陈金平;于天君;曾毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C08G61/02 | 分类号： | C08G61/02;G03F7/038;G03F7/039;C07C39/17;C07C69/96;C07D309/12;C07C37/16;C07C68/00;C07C68/06 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金刚烷－多酚寡聚物及包括其的光刻胶组合物，所述金刚烷－多酚寡聚物的合成过程简单，原料简单易得，反应通过两步即可高产率得到产物，反应中间体易于分离，工艺过程适用于工业化生产；本发明以金刚烷和多酚直接作为寡聚物的构筑单元，最大限度地提高了寡聚物的抗刻蚀性能，同时增加了其热稳定性和成膜性，综合性能大大提高，所述寡聚物的玻璃化温度大于100℃，适合光刻加工工艺的要求，而且在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，有助于其适应不同光刻技术中对成膜厚度的要求，扩大了应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚 多酚寡聚物 及其 光刻 组合 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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