[发明专利]遮挡装置在审
| 申请号： | 201910563367.7 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN112144025A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种遮挡装置，包括至少一个弹性遮挡板和调节组件，弹性遮挡板弹性方向一端固定，调节组件与弹性遮挡板弹性方向的另一端连接，调节组件用于调整弹性遮挡板的弹性状态，使弹性遮挡板处于不同程度遮挡靶材的溅射表面。本发明提供的遮挡装置能够在镀膜膜层时，在保证半导体加工设备达到启辉功率的同时，提高半导体加工设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
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