[发明专利]一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910563980.9 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110275070B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 宋佰鹏;周润东;孙光宇;杨宁;张舒;郭宝烘;穆海宝;张冠军 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置，包括抽气模块、充电模块和电位测量模块。本公开还揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量方法。本公开能够研究空间装备在复杂多因素环境中受到空间电子、离子作用下的静电放电机理；通过记录样品表面电位，能够为研究样品表面的充电特性提供依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粒子 轰击 表面 电位 自动 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置，包括：抽气模块，所述抽气模块包括机械泵和分子泵，所述机械泵和分子泵通过管线与真空室相连，用于抽取真空室内气体使气压降低至10‑6Pa以下；充电模块，所述充电模块包括脉冲信号发生器、电子枪和离子枪，其中，所述脉冲信号发生器位于真空室外，所述电子枪位于真空室内且与所述脉冲信号发生器的第一脉冲输出端相连，所述离子枪位于真空室内且与所述脉冲信号发生器的第二脉冲输出端相连，脉冲信号发生器产生脉冲信号控制所述电子枪发射电子及控制所述离子枪发射等离子对待测样品表面进行充电；电位测量模块，所述电位测量模块包括静电电位计和静电探头，其中，所述静电电位计位于真空室外，所述静电探头位于真空室内且通过导线与所述静电电位计相连，所述静电电位计通过静电探头测量充电后的待测样品表面电位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910563980.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
