[发明专利]等离子体感测装置、等离子体监测系统和等离子体工艺控制方法在审
| 申请号： | 201910564522.7 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110890258A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 朴宪勇;裴祥佑;李瑟琪;朱愿暾 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴晓兵 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体监测系统包括执行等离子体工艺的等离子体室、第一等离子体感测装置和第二等离子体感测装置以及控制器。第一等离子体感测装置和第二等离子体感测装置分别位于相对于等离子体室中的监测等离子体平面的中心点彼此垂直的第一水平方向和第二水平方向上。第一等离子体感测装置和第二等离子体感测装置基于在第一水平方向上从监测等离子体平面照射的第一入射光束和在第二水平方向上从监测等离子体平面照射的第二入射光束，产生关于监测等离子体平面的第一检测信号和第二检测信号。控制器通过基于第一检测信号和第二检测信号执行卷积运算来检测关于监测等离子体平面的二维等离子体分布信息，并基于二维等离子体分布信息控制等离子体工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 装置 监测 系统 工艺 控制 方法 | ||
【主权项】：
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