[发明专利]基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201910564634.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110243503B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈新建;聂宝清;汤昕冉;缪一辉 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B23K26/38;B23K26/402 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列，包括柔性基底层，所述基底层上覆盖有柔性吸波材料，所述柔性基底层和柔性吸波材料之间设置有支撑件，所述柔性基底层采用的是柔性平面线圈，支撑件采用的是弹性支柱；所述平面线圈与柔性吸波材料之间通过多个弹性支柱连接隔开，形成柔性电感式压力传感器。本发明提供一种基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列，具有高灵敏度、快速响应、高稳定性、抗干扰强、耐久度高的性能特点，能够应用于可穿戴电子设备中。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 铁氧体 柔性 电感 压力传感器 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列，包括柔性基底层，所述基底层上覆盖有柔性吸波材料，所述柔性基底层和柔性吸波材料之间设置有支撑件，其特征在于：所述柔性基底层采用的是柔性平面线圈，支撑件采用的是弹性支柱；所述平面线圈与柔性吸波材料之间通过多个弹性支柱连接隔开，形成柔性电感式压力传感器。
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