[发明专利]压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器有效
| 申请号： | 201910565144.4 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110412362B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;雷虎成;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器，主要包括：衬底、固定电极、可动电极、支柱、弹性梁、绝缘层和驱动结构；其中，构成传感器敏感结构的可动电极和固定电极在静止状态时位于同一平面，两者均为感应电极且互为屏蔽电极；由驱动电极和压电层构成的驱动结构驱动可动电极运动，使固定电极与可动电极产生相对位置变化；驱动结构位于感应电极外侧，驱动信号对感应电极上的信号干扰小。本发明的电场传感器可实现低电压驱动，有利于降低耦合干扰，提高传感器的信噪比；通过互屏蔽电极的设置，可提高敏感结构的感应效率，有利于提高传感器的分辨力和灵敏度；还具有微型化、结构简单、便于集成和批量化生产等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 驱动 屏蔽电极 微型 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微型电场传感器，包括衬底、固定电极、可动电极、支柱、弹性梁、绝缘层和驱动结构，其特征在于：支柱，固定于衬底上；固定电极，与支柱直接连接；可动电极，通过弹性梁与支柱连接；其中，所述可动电极和固定电极构成所述微型电场传感器的敏感结构；所述固定电极和可动电极均为感应电极，二者在振动过程中形成差分感应，且互为屏蔽电极作用；驱动结构，通过弹性梁以及绝缘层与所述可动电极连接，其中，所述驱动结构能够在驱动电压的作用下实现驱动结构的可控运动，从而带动可动电极运动，使固定电极与可动电极产生相对位置变化。
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