[发明专利]薄膜晶体管驱动背板及其制备方法、显示面板在审
| 申请号： | 201910565839.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110289307A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 赵策;王明;胡迎宾;宋威;黄勇潮;闫梁臣;倪柳松;丁远奎 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/786;H01L21/336;H01L21/34;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种薄膜晶体管驱动背板及其制备方法、显示面板，涉及显示技术领域，可提升产品良率。一种薄膜晶体管驱动背板，包括：第一衬底、设置于第一衬底上的薄膜晶体管；薄膜晶体管包括：依次设置于第一衬底上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极和漏极；有源层包括第一图案、位于第一图案两侧的第二图案，第一图案的材料为半导体材料，第二图案的材料为导体材料，且该导体材料为对半导体材料进行导体化得到；第一图案与栅极在第一衬底上的正投影重叠，且第一图案与第二图案具有段差；源极和漏极分别至少通过层间绝缘层上的第一过孔和第二过孔，与第一图案两侧的第二图案接触。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 薄膜晶体管 衬底 驱动背板 半导体材料 导体材料 显示面板 漏极 源层 源极 制备 绝缘层 层间绝缘层 产品良率 依次设置 栅绝缘层 导体化 通过层 正投影 段差 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管驱动背板，其特征在于，包括：第一衬底、设置于所述第一衬底上的薄膜晶体管；所述薄膜晶体管包括：依次设置于所述第一衬底上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极和漏极；所述有源层包括第一图案、位于所述第一图案两侧的第二图案，所述第一图案的材料为半导体材料，所述第二图案的材料为导体材料，且该导体材料为对所述半导体材料进行导体化得到；所述第一图案与所述栅极在所述第一衬底上的正投影重叠，且所述第一图案与所述第二图案具有段差；所述源极和所述漏极分别至少通过所述层间绝缘层上的第一过孔和第二过孔，与所述第一图案两侧的所述第二图案接触。
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