[发明专利]一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器在审
| 申请号： | 201910566355.X | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110132395A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 董自强;张松;苗峻;胡天宇;李旭;王大宇;张晓桐 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G01H3/00 | 分类号： | G01H3/00;G01H11/08 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石家庄市中山西路*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器，属于MEMS传感器和矢量水听器技术领域。其包括硅基感知模块和玻璃基过载保护模块，其中硅基感知模块上设置有刚性轻质柱体，玻璃基过载保护模块用于限制刚性轻质柱体的运动范围。本发明解决了目前同振式矢量水听器在受到外界较大冲击情况下易发生敏感元件损坏的问题，同时解决了仿生型MEMS矢量水听器纤毛型感知元件安装限位、粘结胶容易溢出的问题，是对现有技术的一种重要改进。 | ||
| 搜索关键词： | 矢量水听器 过载保护结构 过载保护模块 感知模块 刚性轻质 玻璃基 硅基 柱体 同振式矢量水听器 安装限位 感知元件 敏感元件 大冲击 仿生型 粘结胶 纤毛 溢出 改进 | ||
【主权项】：
1.一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器，其特征在于，包括叠置的硅基感知模块（1）和玻璃基过载保护模块（2），所述硅基感知模块（1）上设置有用于感知二维方向声矢量信号的刚性轻质柱体（3），所述玻璃基过载保护模块（2）套住所述刚性轻质柱体（3）从而限制刚性轻质柱体（3）的运动范围。
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