[发明专利]一种垂直式堆叠封装芯片及其制备方法有效
申请号: | 201910567083.5 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110335858B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 李俊;叶怀宇;刘旭;裴明月;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种垂直式堆叠封装芯片,包括:第一基板,第二基板,……,第n基板,所述n1;以及互连所述相邻基板的多个连接件,所述连接件为连接针或软板,通过控制连接件置于基板中的深度,或连接件的高度,调整相邻基板间的中空间隔。本发明解决了原有芯片结构空间局限性的技术问题,充分地利用了基板的三维空间,实现了多层基板之间互连通信,提高了芯片结构的灵活性。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 堆叠 封装 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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