[发明专利]用于半导体器件的测试方法及用于半导体器件的测试系统在审
申请号: | 201910567341.X | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110726914A | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 李喆民;高泰景;金镇星;孙亨坤;洪升佑;李东具;李祥载 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵南;张帆 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种用于半导体器件的测试方法和测试系统。所述测试方法包括:将测试托盘加载到测试室中,所述测试托盘具有布置在其上的第一批次和第二批次的半导体器件;存储第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的批次信息;对第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个执行测试程序;获得第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的ID信息;将所述ID信息与所述批次信息进行匹配以生成批次分类信息;以及基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息对第一批次和第二批次的半导体器件进行分类。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 测试程序 测试托盘 分类信息 批次信息 测试 测试系统 测试室 加载 匹配 存储 分类 | ||
【主权项】:
1.一种用于半导体器件的测试方法,包括:/n将测试托盘加载到测试室中,所述测试托盘具有布置在其上的第一批次和第二批次的半导体器件;/n存储所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的批次信息;/n对所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个执行测试程序;/n获得所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的ID信息;/n将所述ID信息与所述批次信息进行匹配以生成批次分类信息;以及/n基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息来对所述第一批次和第二批次的半导体器件进行分类。/n
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