[发明专利]一种钛硅合金靶材的低成本制备方法有效
| 申请号： | 201910568170.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110257783B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 毛建伟;吕维洁;韩远飞;黄光法 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C14/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钛硅合金靶材的低成本制备方法，包括以下步骤：A、混料：将海绵钛与结晶硅按比例均匀混合；B、电极压制：将混合好的原料压制成电极棒，再将电极棒进行加热；C、一次自耗熔炼：在保护性气氛下，将加热后的电极棒焊接，然后进行第一次真空自耗熔炼，得到钛硅合金一次锭；D、焊接：将钛硅合金一次锭的两端平头后，利用真空电子束焊接技术将钛硅合金一次锭组合后焊接，得电极料；E、二次自耗熔炼：将电极料进行第二次真空自耗熔炼，得到钛硅合金二次锭；F、将钛硅合金二次锭进行加工即得最终的钛硅靶材。本发明提供的方法制备的钛硅合金靶材具有组织致密、均匀细小，原材料出品率高，成本低，适于工程化规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 低成本 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛硅合金靶材的低成本制备方法，其特征在于，包括以下步骤：A、混料：将海绵钛与结晶硅按比例均匀混合；B、电极压制：将步骤A混合好的原料压制成电极棒，再将电极棒进行加热；C、一次自耗熔炼：在保护性气氛下，将步骤B加热后的电极棒按首尾相接的方式焊接在一起，然后进行第一次真空自耗熔炼，得到钛硅合金一次锭；D、焊接：将步骤C得到的钛硅合金一次锭的两端平头后，利用真空电子束焊接技术将钛硅合金一次锭组合后焊接，得电极料；E、二次自耗熔炼：将步骤D得到的电极料进行第二次真空自耗熔炼，得到钛硅合金二次锭；F、将步骤E得到的钛硅合金二次锭进行加工即得最终的钛硅靶材。
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