[发明专利]一种集成电路的制造装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种集成电路的制造装置及其制造方法，属于集成电路制造技术领域。一种集成电路的制造装置，包括有离子溅射机和封装机，还包括有基板制备机，基板制备机设有基板制备箱，基板制备箱安装有移轮，基板制备箱设有把手，基板制备箱与箱门连接，箱门外表面安有控制面板，控制面板内设有智能生产系统，基板制备箱左侧表面中部设有侧置槽，侧置槽下槽面设有下槽口，侧置槽内槽面设有侧槽口，侧置槽内设有多组大基板，基板制备箱箱内分别设有推动机构、电控冲压杆、冲压机构、固定机构、成品储槽和废板收纳槽。本发明可以快速方便的对基板进行冲压成型，方便集成电路的制备使用，省时省力，结合集成电路的制造方法可以提高集成电路的生产率。

主权项

1.一种集成电路的制造装置，包括有离子溅射机和封装机，其特征在于：还包括有基板制备机，所述基板制备机设置有基板制备箱（1），所述基板制备箱（1）底面固定安装有移轮（3），所述基板制备箱（1）左右两侧上端设置有把手（2），所述基板制备箱（1）正面与箱门（4）活动连接，所述箱门（4）外表面安装有控制面板（5），所述控制面板（5）内设置有智能生产系统，所述所述基板制备箱（1）左侧表面中部设置有侧置槽（6），所述侧置槽（6）下槽面设置有下槽口（7），所述侧置槽（6）内槽面设置有侧槽口（8），所述侧置槽（6）内设置有多组大基板（9），所述基板制备箱（1）箱内分别设置有推动机构（10）、电控冲压杆（11）、冲压机构（12）、固定机构（13）、成品储槽（14）和废板收纳槽（15），所述推动机构（10）上表面与侧置槽（6）下槽面相匹配，所述推动机构右端与所述固定机构（13）左端相匹配，所述固定机构（13）下端与成品储槽（14）相匹配，所述固定机构（13）上端与冲压机构（12）一侧下端相匹配，所述冲压机构（12）一侧上端与电控冲压杆（11）下端相匹配，所述固定机构（13）右端与废板收纳槽（15）相匹配，所述推动机构（10）、电控冲压杆（11）、冲压机构（12）和固定机构（13）与控制面板（5）电性连接。