[发明专利]一种红外探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种红外探测器的制备方法，在芯片晶圆表面键合的窗口晶圆中，所制备的红外窗口为衍射光学窗口，在衍射光学窗口背向芯片晶圆一侧表面设置有对应红外线波长的浮雕衍射透镜。相比于制备厚度均匀渐变且厚度符合预设要求的折射透镜，浮雕衍射透镜的结构使得在制备窗口晶圆时仅仅需要在晶圆表面制备出预设结构的同心环带结构即可，使得具有浮雕衍射透镜的窗口晶圆的成本明显低于具有折射透镜的窗口晶圆的成本，从而可以有效降低红外探测器的成本。同时相比于折射透镜，浮雕衍射透镜的厚度通常更低，有利于红外探测器的的小型化。

主权项

1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，包括：将芯片晶圆与窗口晶圆相互对位，以将所述窗口晶圆中的衍射光学窗口对齐所述芯片晶圆的工作区域；其中，所述芯片晶圆朝向所述窗口晶圆一侧表面设置有红外探测芯片，所述红外探测芯片包括所述工作区域，所述衍射光学窗口对红外线具有透过性，所述衍射光学窗口背向所述芯片晶圆一侧设置有对应红外线波长的浮雕衍射透镜；将所述芯片晶圆与所述窗口晶圆相互键合，以将所述红外探测芯片与对应的所述衍射光学窗口相互固定；切割相互键合的所述芯片晶圆与所述窗口晶圆，以将相邻所述红外探测芯片相互分离，并将相邻所述衍射光学窗口相互分离，以制成所述红外探测器。