[发明专利]三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备及其控制方法在审
| 申请号： | 201910568767.7 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110202256A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 罗搏飞;冼志军;周志豪 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064;B23K26/082 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 林伟敏 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备及其控制方法，其中三轴扫描振镜激光装置包括激光器（1）、第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；本发明用一个激光器发出的激光束通过三轴扫描振镜，依次射向多个加工平台，轮流加工位于多个加工平台上的晶圆，降低了整套设备的总成本，节省了用未加工晶圆替换已加工晶圆的时间，减少激光加工等待的时间，提升激光的使用率，增加激光设备产能至8000‑8500片每小时。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描振镜 三轴 反射镜 激光装置 加工平台 晶圆 扩束整形器 加工设备 激光器 电池片 激光束 振镜 加工 激光器发射 激光加工 激光设备 聚焦透镜 整套设备 总成本 使用率 产能 替换 激光 轮流 | ||
【主权项】：
1.一种三轴扫描振镜激光装置，包括激光器（1），其特征在于，还包括第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述三轴扫描振镜包括Z轴移动聚焦透镜（3a）、X轴旋转振镜（3b）和Y轴旋转振镜（3c），所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；工控机控制所述激光器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜工作。
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