[发明专利]一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备在审
| 申请号： | 201910569110.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110328606A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;朱亮;曹建伟;周锋;卢嘉彬;谢永旭;刘文涛;赵志鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备。本发明涉及硬脆性材料的研磨抛光技术领域，特别涉及一种全自动单片单面研磨抛光装置。包括SIC陶瓷载盘，贴蜡模块包括加热机构和贴片机构，贴片机构包括密闭腔体，腔体内部设有支撑平台，顶部设有通过贴片加压气缸驱动的压板，腔体底部与真空泵相连；研磨抛光模块包括旋转工作台，旋转工作台上铺设抛光布；旋转工作台上方设有抛头，抛头连接抛头悬臂并通过抛头加压气缸驱动，抛头悬臂与抛头主轴相连，贴蜡模块中央有个旋转机械手。贴蜡模块和研磨抛光模块间设有直线传输机械手。本发明装置可以实现硬脆性材料研磨抛光后的片片一致性，提升硬脆性材料表面平坦度。保证硬脆性材料不研磨抛光的那侧表面不受损伤。大大降低人工成本，缩小设备占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 抛头 研磨抛光 硬脆性材料 单面研磨 单片 旋转工作台 加压气缸 减薄设备 贴片机构 悬臂 表面平坦度 旋转机械手 驱动 加热机构 密闭腔体 模块中央 抛光装置 腔体内部 人工成本 支撑平台 直线传输 机械手 侧表面 抛光布 真空泵 腔体 贴片 压板 载盘 损伤 陶瓷 铺设 保证 | ||
【主权项】：
1.一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备，其特征在于，包括SIC陶瓷载盘和通过螺栓相连，集成到一台设备上的贴蜡模块和研磨抛光模块；所述SIC陶瓷载盘其中一个端面上涂覆有均匀的蜡层；所述贴蜡模块包括加热机构和贴片机构，加热机构内置热电偶；所述贴片机构包括密闭腔体，腔体内部设有支撑平台，腔体内顶部设有通过贴片加压气缸驱动的压板，腔体底部与真空泵相连；所述研磨抛光模块包括并排沿线性排列设于贴蜡模块右侧的至少三个研磨抛光机构，每个研磨抛光机构均包括旋转工作台，旋转工作台上铺设抛光布；旋转工作台上方设有抛头，抛头连接抛头悬臂并通过抛头加压气缸驱动，抛头悬臂与抛头主轴相连；所述贴蜡模块中央有个旋转机械手，用于搬运硬脆性材料和SIC陶瓷载盘；贴蜡模块和研磨抛光模块间设有直线传输机械手，用于搬运SIC陶瓷载盘和硬脆性材料。
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