[发明专利]薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统

摘要

本发明涉及显示技术领域，提出一种薄膜涂布装置，该薄膜涂布装置包括：结构主体、多个管道组件、电磁阀组。结构主体包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔，两涂布侧壁沿涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口；管道组件包括一个主管道以及与主管道连通的至少一个分支管道，主管道与容纳腔连通，分支管道分别与位于同一位置的侧壁开口连通；电磁阀组包括多个电磁阀，电磁阀一一对应设置于主管道内，电磁阀组用于受控于一控制信号组，通过控制不同的电磁阀以控制不同位置的侧壁开口上清洗液的流量。本公开提供的薄膜涂布装置能够降低该薄膜涂布装置清洗时清洗液渗入涂布开口的风险。

主权项

1.一种薄膜涂布装置，其特征在于，包括：结构主体，包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔，两所述涂布侧壁沿所述涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口；多个管道组件，所述管道组件包括一个主管道以及与所述主管道连通的至少一个分支管道，所述主管道与所述容纳腔连通，所述分支管道分别与位于同一位置的所述侧壁开口连通；电磁阀组，包括多个电磁阀，所述电磁阀一一对应设置于所述主管道内，所述电磁阀组用于受控于一控制信号组，通过控制不同的所述电磁阀以控制不同位置上所述侧壁开口的清洗液流量。