[发明专利]磁场作用下激光诱导等离子体辅助电火花复合加工装置及方法

摘要

本发明公开了一种磁场作用下超短脉冲激光诱导等离子体辅助电火花复合加工装置以及方法，属于特种加工的激光加工和电火花复合加工领域，该装置将激光诱导等离子体加工单元、电火花加工单元和复合磁场单元有机复合在一起，激光诱导等离子体加工单元包括超短脉冲激光器、激光器电源、水冷机，光路转换组件，复合磁场单元包括直流激励电源和环形电磁铁，电火花加工单元包括用于控制工件按照预期移动的五自由度精密平台。本发明装置和方法能解决电火花加工技术中，难以加工低导电率材料、难以实现跨尺度加工、加工表面质量不够高的问题，具有非常广泛的应用前景。

主权项

1.一种磁场作用下激光诱导等离子体辅助电火花复合加工装置，其特征在于，其包括电火花加工单元、激光诱导等离子体加工单元以及磁场单元，电火花加工单元、激光诱导等离子体加工单元以及磁场单元有机组装成一体，其中，电火花加工单元包括用于控制工件按照预期移动的五自由度精密平台和中空电极，所述五自由度精密平台用于实现工件沿X轴、Y轴、Z轴直线移动，以及实现工件沿X轴、Y轴旋转，所述中空电极用于与工件形成电火花放电的两极，以进行电火花加工，激光诱导等离子体加工单元包括超短脉冲激光器和光路转换组件，光路转换组件用于将超短脉冲激光器发出的脉冲激光传导至中空电极处，并经中空电极出射至工件上，进而在工件表面诱导产生等离子体，以能进行激光诱导等离子体加工，磁场单元包括多对电磁铁，多对电磁铁环绕在工件周围形成复合磁场，多对电磁铁相对中空电极的位置远近能够调节，以用于保证在加工的整个过程中，电火花加工处的磁场参数始终稳定一致。