[发明专利]光点差分式非接触式元件厚度测量的光头、厚度测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201910571149.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110274545A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王善忠;曹兆楼 | 申请（专利权）人： | 爱丁堡（南京）光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211123 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光点差分式非接触式元件厚度测量的光头、厚度测量装置及测量方法。光头的光学系统包括光源、分光镜、第一聚光镜、柱面镜和相机；光源发出的光束经分光镜后，一部分光经过第一聚光镜聚成测量光点、落在被测元件表面；测量光点在被测元件表面反射，沿原光路返回，依次经过第一聚光镜、分光镜和柱面镜后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦线和Y方向的焦线，且在X方向的焦线和Y方向的焦线之间，形成呈中心对称的像点，相机设在像点处。本发明可实现各种类型待测元件厚度的非接触式测量，准确度高，结构简单；能方便准确找到被测透镜的中心，从而测出中心厚度；同时还能识别被测透镜是否倾斜；进一步，方便了安装、简化了测量、防止了污染。 | ||
| 搜索关键词： | 焦线 分光镜 聚光镜 光头 透镜 非接触式元件 厚度测量装置 被测元件 厚度测量 测量 测量光 差分式 柱面镜 光点 像点 光源 相机 非接触式测量 表面反射 待测元件 光学系统 中心对称 准确度 垂直的 原光 聚焦 返回 污染 | ||
【主权项】：
1.一种光点差分式非接触式元件厚度测量的光头，其特征在于：其光学系统包括光源、分光镜、第一聚光镜、柱面镜和相机；光源发出的光束经分光镜后，一部分光经过第一聚光镜聚成测量光点、落在被测元件表面；测量光点在被测元件表面反射，沿原光路返回，依次经过第一聚光镜、分光镜和柱面镜后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦线和Y方向的焦线，且在X方向的焦线和Y方向的焦线之间，形成呈中心对称的像点，相机设在像点处。
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