[发明专利]慢提拉装置及硅片清洗机在审
| 申请号： | 201910571229.3 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110211904A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 黎彬 | 申请（专利权）人： | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 闫晓欣 |
| 地址： | 224400 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种慢提拉装置及硅片清洗机。慢提拉装置包括机台；平衡板，用以放置装有硅片的花篮；平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；升降机构，位于平衡板的下侧；升降机构可驱动平衡板升起并驱使平衡板的第一侧边高于平衡板的第二侧边；以及挡件，设于机台上，并位于平衡板的第一侧边的上升路径上的上方；挡件用以在平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡平衡板的第一侧边继续上升，使得升降机构可驱使平衡板的第二侧边上升。上述慢提拉装置，通过升降机构和挡件共同作用，即可实现花篮的放平操作。挡件的作用在于可在平衡板的第一侧边升高至预设高度时阻挡平衡板的第一侧边的上升即可，结构简单，即使得慢提拉装置结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡板 侧边 提拉装置 升降机构 挡件 硅片清洗机 预设 花篮 机台 阻挡 上升路径 硅片 放平 升高 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种慢提拉装置，其特征在于，包括：机台；平衡板，用以放置装有硅片的花篮；所述平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；升降机构，位于所述平衡板的下侧；所述升降机构可驱动所述平衡板升起并驱使所述平衡板的第一侧边高于所述平衡板的第二侧边；以及挡件，设于所述机台上，并位于所述平衡板的第一侧边的上升路径上的上方；所述挡件用以在所述平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡所述平衡板的第一侧边继续上升，使得所述升降机构可驱使所述平衡板的第二侧边上升。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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